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Magnetic Fluid Seal

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 [예금주 : 김광수 (호원)]
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기본 정보
상품명 : Magnetic Fluid Seal
원산지 : 국내
판매가 : 견적문의
상품코드 : P0000BEA
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자성유체씰의 원리

 

 

자성유체씰의 밀봉의 원리

 

 

자성 유체는 크기가 약 10㎚ 정도의 자성을 갖는 미세입자를 특수 표면 처리를 한 후, 액체에 혼합한 콜로이드(Colloid) 상태의 유체이다.

액체에 혼합된 미세 입자는 액체 내에서 침전되지 않고 균일하게 분포하여 분자와 유사한 운동을 한다.

이러한 특성을 밀봉기술에 적용한 것이 자성유체씰(magnetic fluid seal)이다.

자속(magnetic flux)이 형성된 자성유체씰(magnetic fluid seal)의 틈에 자성유체가 위치하며 자속에 의해 액체 Ring을 형성하여 밀봉을 구현하게 된다.

 

 

Magnetic seal은 주로 반도체, LCD, OLED, 태양광 산업 관련 진공장비의 구동에 필요한 동력을 전달하기 위해 반드시 필요한 부품이다.

이전의 Sealing 기술(오링, 메카니컬씰 등)이 가지고 있는 기계적 마찰 씰링 방식은 마찰로 인한 파티클 발생, 큰 구동토크, 짧은 수명이 단점으로 지적이 되고 있다.
하지만 산업기술의 발달로 인해 더욱 정밀한 제품의 생산 공정이 요구됨에 따라 이전 Sealing 기술의 단점을 극복한 Magnetic seal이 사용되고 있으며 Sealing 구조 및 원리는 다음의 그림과 같다.

기본적인 구조는 1개의 구동축으로 구성되며 장비의 특성에 따라 2축이상의 다축이 요구되는 경우도 있다.
(기본 구성품 : housing, shaft, pole piece, spacer, cover, magnetic, snap ring, o-ring, 자성유체)

 

 

 

 

 

 

   

 

 

진공챔버에 대기측 동력을 진공측에 전달하기 위해 자성유체를 이용하여 대기와 진공구역을 완벽히 차단하는 씰링기술로 정밀설계 기술을 필요로 하며, Housing, Shaft, Magnetic , Spacer, Pole Piece, Bearing으로 구성되어 있다.  (Shaft 와 Pole Piece 사이에 유체 O-ring 형성) 
  

진공 Chamber내에서 회전 운동을 필요로 하는 경우, 아래와 같은 형태의 Magnetic Fluid Seal을 사용한다.

(회전 운동의 경우는 Magnetic Fluid Seal이 직선 운동의 경우 Metal Bellows가 진공상태를 유지 시켜 준다.)

 

 

 

 

 Standard Type

 

 

반도체용 

 

 진공 Robot용

 

Ingot Grower용 

 

OLED용 

 

 

 

 

 

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